胤旭機電 >> APTECH閥AP501SA 2PW FV4MV4 : APTECH閥AP501SA 2PW FV4MV4 單級 表面貼裝(IGS)1-1 / 8英寸C和W密封 316L不銹鋼VAR二次熔煉施工 體積小巧內(nèi)部容積 高性能低磁滯 真空至3,000 psig(207 bar)入口 15 slpm流量HF選項為30 slpm 低于大氣壓正壓
APTECH閥AP501SA 2PW FV4MV4
單級
•表面貼裝(IGS)1-1 / 8英寸C和W密封
•316L不銹鋼VAR二次熔煉施工
•體積小巧內(nèi)部容積
•高性能低磁滯
•真空至3,000 psig(207 bar)入口
•15 slpm流量HF選項為30 slpm
•低于大氣壓正壓輸送
入口/出口連接器1/4或3/8英寸端面密封或管焊接-1 / 8英寸C和W密封
流量系數(shù)(Cv)0.06(0.1 HF選件)
內(nèi)部容積0.15 in3(2.4 cm3)
工作溫度-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)**
表面粗糙度Ra最大15 µin / 10 µin。 鐳平均(0.4 / 0.25 µm)標準; 10 µin(0.25 µm);7 µin(0.18 µm); 和5 µin(0.13 µm)Ra max可選舷內(nèi)泄漏2 x 10-10 sccs
外部泄漏2 x 10-9 sccs He,入口壓力為100 psig
在100 psig入口壓力下,閥座4 x 10-8 sccs He泄漏
每20 psig的源壓力變化,供氣壓力效應為0.20 psig(每20 psig的源壓力變化HF選項為0.4 psig)安裝面
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