胤旭機電 >> SETRA真空壓力計730G010TAN12CT1A : SETRA真空壓力計730G010TAN12CT1A Setra的730型是一種高精度電容壓力計(也稱為電容隔膜壓力計(CDG)),用于測量對于控制光伏,半導(dǎo)體和工業(yè)市場中的工藝至關(guān)重要的低真空壓力范圍。它的0.
SETRA真空壓力計730G010TAN12CT1A
Setra的730型是一種高精度電容壓力計(也稱為電容隔膜壓力計(CDG)),用于測量對于控制光伏,半導(dǎo)體和工業(yè)市場中的工藝至關(guān)重要的低真空壓力范圍。它的0.5%的讀取精度和精確的分辨率使730成為競爭產(chǎn)品的**。730利用所有Inconel®潤濕材料,使其能夠與半導(dǎo)體工藝中的侵蝕性介質(zhì)一起使用。730的直接測量設(shè)計可對介質(zhì)進(jìn)行精確測量,而與應(yīng)用中氣體混合物的成分無關(guān)。
高性能,適合要求苛刻的應(yīng)用-730 型電容壓力計使用單個隔膜可變電容傳感元件,用于要求苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。730的讀取精度,高分辨率和寬動態(tài)范圍的百分比使730成為適合關(guān)鍵制造過程的理想選擇。
與Inconel®設(shè)計的多功能兼容性 -730的所有接液部件均采用Inconel®設(shè)計。Inconel®對半導(dǎo)體和工業(yè)真空工藝中使用的腐蝕性介質(zhì)具有很高的抵抗力。它們的材料以及所有焊接結(jié)構(gòu)確保了應(yīng)用中的長壽命。
直接壓力測量 -730型設(shè)計有一個隔膜,可直接測量使用點的壓力變化。與行業(yè)中的其他電容式壓力計不同,730可以測量直接壓力。它與被測氣體混合物無關(guān)。這使得730的準(zhǔn)確性比僅能測量間接壓力的壓力計更高。
高精度:讀數(shù)的±0.25%
張力膜片提供卓越的性能
寬補償工作溫度
快速響應(yīng)時間,低電路噪聲
對環(huán)境變化不敏感
超壓設(shè)計
符合CE和RoHS
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