SENTECH - 德國(guó) SENTECH測(cè)量?jī)x器及等離子體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的高科技公司

胤旭機(jī)電 >> SENTECH - 德國(guó) SENTECH測(cè)量?jī)x器及等離子體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的高科技公司 : 德國(guó)Sentech Instruments GmbH 公司的所有產(chǎn)品，該公司位于德國(guó)首都柏林，是一家從事薄膜測(cè)量?jī)x器和等離子體設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)的高科技公司。

   SENTECH - 德國(guó) SENTECH測(cè)量?jī)x器及等離子體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的高科技公司    

      德國(guó)Sentech Instruments GmbH 公司的所有產(chǎn)品，該公司位于德國(guó)首都柏林，是一家從事薄膜測(cè)量?jī)x器和等離子體設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)的高科技公司。SENTECH公司生產(chǎn)的各種等離子體刻蝕、沉積設(shè)備具有高刻蝕率、低損傷、低溫、高均勻度、沉積速度快等特點(diǎn)，廣泛地用于半導(dǎo)體、微系統(tǒng)、有機(jī)薄膜等領(lǐng)域。SENTECH - 德國(guó) SENTECH測(cè)量?jī)x器及等離子體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的高科技公司
 
       SENTECH公司致力于發(fā)展薄膜測(cè)量技術(shù)（光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀）和等離子加工技術(shù)（等離子刻蝕、沉積系統(tǒng)，定制解決方案），專(zhuān)業(yè)研發(fā)、制造、銷(xiāo)售相關(guān)儀器和設(shè)備。SENTECH - 德國(guó) SENTECH測(cè)量?jī)x器及等離子體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的高科技公司.SAILSORS過(guò)程儀表

激光橢偏儀
     SE 400adv , SE 500adv -激光橢偏儀，多角度入射，**的硬件和軟件能夠?qū)Ρ∧ず穸群凸鈱W(xué)常數(shù)進(jìn)行比較精確的測(cè)量，可分析單層膜和多層膜。

SE 800是采用快速二極管陣列探測(cè)器的高性能光譜橢偏儀，在紫外/可見(jiàn)光范圍內(nèi)兼具快速數(shù)據(jù)采集速度和全光譜范圍分辨率。

　　光譜橢偏儀SE 800適用于復(fù)雜應(yīng)用，比如測(cè)量玻璃上的透明薄膜，發(fā)光體和半導(dǎo)體聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多層膜，窗材料的減反射膜，**的微電子應(yīng)用比如SOI，高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。SENTECH - 德國(guó) SENTECH測(cè)量?jī)x器及等離子體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)的高科技公司

光譜橢偏儀 SE 800 特征
　　·步進(jìn)掃描分析器工作方式，對(duì)較低光強(qiáng)也同樣有效
　　·消色差補(bǔ)償器在整個(gè)0-360度范圍內(nèi)都可極準(zhǔn)確和精確地測(cè)量出橢偏角度。能夠分析偏振因數(shù)和補(bǔ)償退偏效應(yīng)
　　·起偏器跟蹤技術(shù)可以為每一種應(yīng)用都提供比較高的測(cè)量精度
　　·自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡用于樣品傾斜度調(diào)節(jié)，顯微鏡用于樣品高度調(diào)節(jié)，能夠提供比較高的樣品對(duì)準(zhǔn)精度
　　·高穩(wěn)定性的操作，所有硬件操作由其內(nèi)置的微控制器分別控制，基于Windows XP系統(tǒng)的比較新型電腦
　　·SpectraRay II – 功能強(qiáng)大的光譜橢偏儀軟件

主要應(yīng)用
　　·測(cè)量單層膜或多層膜的厚度和折射率
　　·在紫外-可見(jiàn)光波段測(cè)量材料的光學(xué)性質(zhì)
　　·測(cè)量厚度梯度
　　·測(cè)量膜表面和界面間的粗糙程度
　　·確定材料成分
　　·分析薄金屬膜
　　·分析各向異性材料和薄膜
　　·CER – 結(jié)合橢偏測(cè)量和反射測(cè)量
　　·CET – 結(jié)合橢偏測(cè)量和透射測(cè)量

選項(xiàng)
　　·紫外擴(kuò)展選項(xiàng) 280 - 850 nm
　　·計(jì)算機(jī)控制角度計(jì)，40º-90º, 可選 20º-90º ，精度0.01º
　　·手動(dòng)x-y載物臺(tái)，150 mm行程
　　·電機(jī)驅(qū)動(dòng)x-y載物臺(tái)，行程50 mm - 200 mm
　　·MWAFER- SENTECH地貌圖掃描軟件
　　·透射測(cè)量樣品夾具
　　·攝象頭選項(xiàng)，用于樣品對(duì)準(zhǔn)和表面檢測(cè)
　　·液體膜測(cè)量單元
　　·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
　　·微細(xì)光斑選項(xiàng)，光斑直徑200微米，可選: 100微米
　　·自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)，結(jié)合地貌圖掃描選項(xiàng)
　　·SENTECH標(biāo)準(zhǔn)樣片
　　·附加許可，使SpectrRay II軟件可以用于多臺(tái)電腦
 
代表型號(hào)：
SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.