MKS流量計(jì)640B-29126

胤旭機(jī)電 >> MKS流量計(jì)640B-29126 : MKS流量計(jì)640B-29126 640B絕對(duì)壓力控制器是一個(gè)獨(dú)立的緊湊型閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，包含Baratron電容壓力計(jì)，常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。與標(biāo)準(zhǔn)MFC在電氣上類似，640B由15 VDC供電

　　MKS流量計(jì)640B-29126

　　640B絕對(duì)壓力控制器是一個(gè)獨(dú)立的緊湊型閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，包含Baratron®電容壓力計(jì)，常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。與標(biāo)準(zhǔn)MFC在電氣上類似，640B由±15 VDC供電，僅為200 mA，允許使用標(biāo)準(zhǔn)電源和顯示電子設(shè)備。壓力輸出和輸入控制信號(hào)為線性0-5或0-10 VDC。帶有LED狀態(tài)指示燈的兩個(gè)跳閘點(diǎn)可用作簡(jiǎn)單的開(kāi)/關(guān)過(guò)程限制。

　　集成Baratron®電容壓力計(jì)技術(shù);

　　低壓工藝的滿量程范圍低至10 Torr;

　　可與上游或下游控制器應(yīng)用程序一起使用;

　　兩個(gè)報(bào)警跳閘點(diǎn)用于過(guò)程限制控制。

　　通過(guò)任何孔口的流量取決于孔口的尺寸，入口和出口壓力以及氣體密度。要簡(jiǎn)化640/641孔板選擇，請(qǐng)使用以下步驟：

　　在圖中的索引編號(hào)表中，從左側(cè)壓力列中選擇入口壓力 - 將施加到640/641入口的壓力。(注意，這些值是絕對(duì)壓力。)接下來(lái)，從該表頂部的一排壓力中選擇差壓(delta)壓力 - 這是入口壓力減去出口壓力。找到索引號(hào) - 您選擇的行和列相交的位置。計(jì)算密度校正因子。

　　轉(zhuǎn)到孔板選擇圖(參見(jiàn)圖)并沿底軸找到索引號(hào)。

　　在索引號(hào)處繪制一條垂直線。該線將與可用的閥孔的比較大流速線相交。

　　選擇比較大流量超過(guò)您要求的孔口。如果圖表上的點(diǎn)接近孔口的比較大流量，您可以選擇下一個(gè)比較大的孔口數(shù)

　　在640控制器中，Baratron壓力傳感器測(cè)量絕對(duì)壓力; 在641型號(hào)中，它測(cè)量表壓(相對(duì)于環(huán)境大氣壓的壓力)。在兩種型號(hào)中，可提供10,100或1000 Torr或60或100 psi的滿量程范圍。每個(gè)640/641可以控制從滿量程到滿量程的2%以下的壓力。謹(jǐn)慎的設(shè)計(jì)建議為應(yīng)用選擇盡可能低的滿量程，同時(shí)考慮傳感器可能暴露的過(guò)壓(正常和意外)。