胤旭機(jī)電 >> KOFLOC氣體流量控制器DF350C : KOFLOC氣體流量控制器DF350C DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，SP精度為1%，響應(yīng)時(shí)間1秒。它還具有七種氣體的多氣體和多量程功能，并且易于改變每種氣體的流速范圍。 高精度
DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，SP精度為±1%，響應(yīng)時(shí)間≤1秒。它還具有七種氣體的多氣體和多量程功能，并且易于改變每種氣體的流速范圍。
·高精度(±1%RD)，快速響應(yīng)(1秒。在所有范圍內(nèi))
·支持多種范圍和多種氣體
·作為標(biāo)準(zhǔn)功能安裝的通信功能(RS485)
·符合RoHS / CE標(biāo)準(zhǔn)
| 傳感器類型 | 熱傳感器 | |
| 閥門(mén)類型 | 常閉比例電磁閥 | |
| 適用氣體* 1 | 多種氣體：N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）* 2 | |
| 流量范圍* 3 | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM * 2 | |
| 控制范圍 | 2至100％（FS） | |
| 響應(yīng)* 4 | 總流量控制范圍±1秒（±2％FS內(nèi)） | |
| 精度* 5 |
±1.0％SP（> 35％FS） ±0.35％FS（≤35％FS） |
|
| 重復(fù)性 | ±0.25％FS | |
| 工作壓差* 6 | 50至300 kPa（Ar和CO2為100至300 kPa） | |
| 進(jìn)口比較大壓力 | 500kPa（G） | |
| 證明壓力 | 980kPa（G） | |
| 外部泄漏率 | ≤1.0×10 -8 Pa·m 3 / sec（He） | |
| 溫度 | 工作溫度 | 5至50℃ |
| 精確保證溫度。 | 15至35℃ | |
| 允許的存儲(chǔ)溫度。 | -10至60℃ | |
| 允許的工作濕度 | 相對(duì)濕度為10％至90％（無(wú)結(jié)露） | |
| 氣體接觸部分的材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE和FKM | |
| 電氣連接 | D-sub 9針，KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），RJ-45模塊化插孔（兩個(gè)） | |
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0至5 V DC（輸入阻抗：約1MΩ） | |
| 流量輸出信號(hào) | 0至5 V DC（負(fù)載電阻10kΩ） | |
| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)設(shè)置地址：比較多99個(gè)設(shè)備（9600 bps） | |
| 所需電源（DC） | +15 V DC（±5％）：150 mA， - 15 V DC（±5％）：150 mA | |
| 聯(lián)合* 7 | 1/4 F900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc 1/4 | |
| 安裝姿勢(shì) | 建議水平安裝。 | |
| 重量* 8 | 約。850克 | |
滬公網(wǎng)安備 31010702003756號(hào)
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