胤旭機(jī)電 >> LEYBOLD復(fù)合整塊規(guī)頭ITR90 : LEYBOLD復(fù)合整塊規(guī)頭ITR90 熱離子組合儀表ITR 90和ITR 90 P已經(jīng)過設(shè)計(jì)用于非易燃?xì)怏w的真空測(cè)量氣體混合物,壓力范圍為510-10 ... 1000毫巴。儀表可以與儀表一起操作COMBIVACIT23或其他評(píng)估單位
LEYBOLD復(fù)合整塊規(guī)頭ITR90
熱離子組合儀表ITR 90和ITR 90 P已經(jīng)過設(shè)計(jì)用于非易燃?xì)怏w的真空測(cè)量氣體混合物,壓力范圍為5×10-10 ... 1000毫巴。儀表可以與儀表一起操作COMBIVAC®IT23或其他評(píng)估單位。
在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi),熱離子組合儀表具有連續(xù)的特征曲線及其特征測(cè)量信號(hào)輸出為壓力的對(duì)數(shù)。該儀表采用Bayard Alpert熱陰極電離測(cè)量系統(tǒng)(p <2.0×10-2 mbar)和皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)(p> 5.5×10-3 mbar)。 在里面重疊壓力范圍為2.0×10-2 ... 5.5×10-3 mbar a輸出兩個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的混合信號(hào)。
該通過皮拉尼測(cè)量打開熱陰極系統(tǒng)僅低于2.4×10-2 mbar的切換閾值(防止燈絲燒壞)。 當(dāng)它關(guān)閉時(shí)它被關(guān)閉壓力超過3.2×10-2毫巴。
壓敏膜片這些容性絕對(duì)壓力傳感器由Al2制成O3陶瓷術(shù)語“電容測(cè)量”是指平板電容器是由平板電容器產(chǎn)生的隔膜帶固定電極隔膜后面當(dāng)兩個(gè)板之間的距離為此電容器的變化,電容的變化將導(dǎo)致這種變化,即與壓力成正比的是轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電測(cè)量信號(hào)這里也是疏散參考室服務(wù)
作為壓力測(cè)量的參考用電容量計(jì)可以精確測(cè)量10-5 mbar / Torr以上的壓力大氣壓力,由此不同的電容計(jì)具有不同厚度的隔膜(和因此靈敏度)必須是用過的
該測(cè)量原理利用了氣體的導(dǎo)熱系數(shù)壓力測(cè)量的目的范圍從10-4 mbar / Torr到大氣壓今天,只有皮拉尼控制儀的原理Leybold使用它來獲得一個(gè)快速響應(yīng)內(nèi)部的燈絲測(cè)量頭形成惠斯通電橋的一個(gè)臂加熱電壓以這種方式控制應(yīng)用于橋的燈絲阻力,因而溫度無論發(fā)出的熱量多少,
燈絲都保持不變燈絲由于傳熱從燈絲到氣體的增加隨著壓力的增加,電壓跨過橋是一種衡量標(biāo)準(zhǔn)壓力溫度補(bǔ)償?shù)母倪M(jìn)導(dǎo)致了穩(wěn)定的壓力讀數(shù)也在面對(duì)溫度變化大的問題特別是在測(cè)量低壓時(shí)
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