MKS微波功率源ASTEX AX2115

胤旭機電 >> MKS微波功率源ASTEX AX2115 : MKS微波功率源ASTEX AX2115 SmartPowerAX2500系列智能微波發(fā)電機經過驗證具有設計堅固，可靠的微波功率發(fā)生器的經驗半導體制造和工業(yè)應用。 緊湊的AX2500設計架構采用經過現場驗證的技術，

　　MKS微波功率源ASTEX AX2115

　　SmartPower®AX2500系列智能微波發(fā)電機經過驗證具有設計堅固，可靠的微波功率發(fā)生器的經驗半導體制造和工業(yè)應用。 緊湊的AX2500設計架構采用經過現場驗證的技術，并結合了新的設計功能提高性能和降低擁有成本。

　　SmartPower AX2500系列包含兩種型號，涵蓋了一系列產品連續(xù)微波功率從180 W到3 kW。 型號AX2518具有比較大值AX2530的性能為1.8 kW和3 kW。 頻率輸出為2.455 GHz±15 MHz。

　　特點與優(yōu)勢

　　•提供1.8和3 kW功率優(yōu)質別適用于200和300mm應用

　　•微處理器控制的燈絲削減延伸磁控管。 可現場更換的磁控管管降低整體CoO

　　•準確的功率測量和反饋確保高重復性

　　•緊湊的模塊化設計增強跨平臺兼容性

　　所有發(fā)電機共享一個通用的模塊化架構準確的功率測量，反饋和控制增加了過程控制和可重復性。 所有型號具有0.1%的反饋控制功率調節(jié)輸出功率(線路和負載)和紋波<±1%的輸出功率。 PrecisionPower™技術(源自MKS獲得**的SmartMatch™智能微波匹配單位)將功率控制的準確度提高到<±1.5%提高工藝一致性的比較大功率。

　　此外，PrecisionPower™技術允許磁場在現場基本上被替換降低擁有成本。AX2500系列SmartPower®控制技術監(jiān)控發(fā)電機的操作系統(tǒng)并提供電源關閉保護和智能診斷。該SmartPower®生成器上顯示的簡單消息前面板為用戶提供所需的所有信息了解系統(tǒng)狀態(tài)，減少MTTR并確保比較大正常運行時間