胤旭機(jī)電 >> INFICON真空計PSG500 : INFICON真空計PSG500 INFICON Pirani標(biāo)準(zhǔn)儀表,PSG500,PSG502-S,PSG510-S和PSG512-S采用市場上比較**的數(shù)字Pirani技術(shù)。堅固的不銹鋼傳感器單元和緊湊的設(shè)計使其適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,如前
INFICON真空計PSG500品牌簡介/INFICON真空計PSG500產(chǎn)品型號/INFICON真空計PSG500供應(yīng)商
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INFICON真空計PSG500
INFICON真空計PSG500
INFICON Pirani標(biāo)準(zhǔn)儀表,PSG500,PSG502-S,PSG510-S和PSG512-S采用市場上比較**的數(shù)字Pirani技術(shù)。堅固的不銹鋼傳感器單元和緊湊的設(shè)計使其適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,如前真空線。
當(dāng)施加電源電壓時,測量信號引腳3和5之間有關(guān)系(關(guān)系測量信號和壓力→“技術(shù)數(shù)據(jù)”)。允許至少10分鐘的穩(wěn)定期。 無論如何,建議連續(xù)操作壓力表壓力。
測量值取決于氣體。 壓力讀數(shù)適用于干燥空氣,O2,CO和N2。 對于其他氣體,它必須糾正(→“技術(shù)數(shù)據(jù)”)。如果使用INFICON控制器操作儀表,則可以應(yīng)用校正因子來校正實際讀數(shù)(→相應(yīng)控制器的→)。INFICON真空計PSG500
儀表已經(jīng)過工廠校準(zhǔn)。 由于長時間操作或污染,可能發(fā)生零漂移。 定期檢查零,并在必要時進(jìn)行調(diào)整。要調(diào)整零點,請在相同的位置下操作儀表環(huán)境條件和安裝方向相同一般。儀表調(diào)整為默認(rèn)值。 但是,它也可以如果精確的壓力,調(diào)整到其他壓力值值已知(參考測量)。
設(shè)定值可在壓力范圍內(nèi)調(diào)節(jié)2×10-3 ... 500 mbar(電壓范圍2.67 ... 9.61 VDC)。每個開關(guān)功能提供浮動繼電器觸點(→“電氣連接”)。疏散至p << 10-4 mbar(推薦)或a壓力在10-4 ... 10-2毫巴的范圍內(nèi),等待至少2分鐘。用一個按鈕按下按鈕,HV調(diào)節(jié)為進(jìn)行:將壓力表調(diào)節(jié)至1.2×10-4毫巴(1.1 VDC)默認(rèn)情況下。 按下按鈕> 5秒即可壓力值增加到1×10-2毫巴,直到按鈕被釋放或達(dá)到限制。
用針(比較大ø1.1mm)按下
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