RE DIXON反應(yīng)器/RE DIXO雙站反應(yīng)器

RE DIXON雙站反應(yīng)器
   RE DIXON位于出來的內(nèi)華達(dá)州卡森城，離Tahoe湖一分鐘。RE DIXON公司目前房子 3 萬平方英尺的設(shè)施，以處理設(shè)備、 零部件和服務(wù)。
RE DIXON所提供的服務(wù)：
* 電解拋光* 軌道焊接* 工程 & 設(shè)計(jì)
* 合同制造* 原型* 現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)* 創(chuàng)業(yè)公司* 關(guān)閉* 預(yù)定下午* 系統(tǒng)故障排除和修復(fù)* 工廠再制造* 氣面板維修* 完成反應(yīng)器再制造* 射頻發(fā)生器* 電梯環(huán)和基板* 電子控制小組升級(jí)* 鐘罩修理* 射頻線圈的重建* 切換開關(guān)將重建* 雙子座 I、 II、 III 將重建* 金反射器和修復(fù)* 技術(shù)支持。RIDGID彎管器

RE DIXON公司主要產(chǎn)品描述：
RE DIXON  Rexon 8 ® 反應(yīng)器室
Rexon 8 ® 是已完成的最復(fù)雜過程的外延反應(yīng)器室放大的版本、 重?fù)诫s襯底、 原位多摻雜濃度和控制的摻雜梯度層的尖銳過渡寬度增長(zhǎng)。Rexon 8 ® 反應(yīng)器室被設(shè)計(jì)用于所有類型的半導(dǎo)體器件的制造。設(shè)計(jì)要滿足的要求的超大規(guī)模集成電路、 CMOS、 離散、 數(shù)字、 線性模擬與聚介電分離設(shè)備。立式氣體入口，旋轉(zhuǎn)碳化硅涂層熱感，加上**的鐘形配置和可調(diào)射頻線圈的設(shè)計(jì)，給出了處理的晶片負(fù)載優(yōu)良均勻性的厚度和電阻率。處理室和水暖設(shè)計(jì)有已制造的最高標(biāo)準(zhǔn)，以消除金屬污染物。水和空氣冷卻黃金反射罩反射回的硅晶片的正面能量。這減少了通過晶圓片的溫度差異所引起的應(yīng)力。Rexon ®反應(yīng)堆已被用于生長(zhǎng)硅單晶從亞微米至厚達(dá) 250 微米。Rexon 8 ® 并不局限于一個(gè)或兩個(gè)硅源，但同樣執(zhí)行好上硅烷，dichlorsilane。為那些工廠和鑄造廠使用多個(gè)硅片直徑可能改變這個(gè)反應(yīng)堆以容納任何從 150 毫米到 300 毫米的晶圓在幾秒鐘內(nèi)。
 
RE DIXON雙站反應(yīng)器
Rexon ® 雙站設(shè)計(jì)允許自動(dòng)開關(guān)在的一個(gè)等待的過程分庭的射頻發(fā)生器。最後過程氣體面板提供每個(gè)反應(yīng)堆。這種設(shè)計(jì)優(yōu)化的處理時(shí)間和電源供應(yīng)使用同一個(gè)單一的工具安裝。存款時(shí)間小于熱起來，冷靜下來或單獨(dú)的進(jìn)程程序在每個(gè)分庭上正在運(yùn)行時(shí)，這種設(shè)計(jì)是特別有用的。也可以通過放機(jī)與第二個(gè)射頻電源作為一個(gè)高使用這個(gè)系統(tǒng)。
 
RE DIXON單站反應(yīng)器
Rexon ® 單站具有一個(gè)進(jìn)程室用專用的電源。存款時(shí)間是多長(zhǎng)于的組合加熱和降溫或需要通過放高并不是主要的問題時(shí)，應(yīng)該使用這種設(shè)計(jì)。該單一反應(yīng)器內(nèi)還用于成長(zhǎng)厚厚的多晶硅層厚度超過 25 密耳。進(jìn)程已成長(zhǎng)這聚層在每分鐘 3-8 微米。弓通常是少于 3 密耳。細(xì)晶粒結(jié)構(gòu)與沒有空隙。Rexon ® 反應(yīng)器具有巨大的門，很簡(jiǎn)單的操作訪問。這些折疊門都已鎖定與拉手和軸襯，軸承上旋轉(zhuǎn)。這種組合可以減少顆粒產(chǎn)生和 foRexon8 倒戈清洗和維護(hù)也允許方便地訪問。REIKOTRONIC工業(yè)
 
RE DIXON氣體流量控制系統(tǒng)
Rexon ® 氣體叢林被為了接受所有主要制造商的自動(dòng)質(zhì)量流量控制器。布局允許容易添加和刪除的組件。過程油管有電拋光的內(nèi)部，惰性氣體與 VCR 連接使用瓦軸配件焊接。外部然后是電拋光。工藝氣體系統(tǒng)泄漏率小于 1 × 10-8 他 STD cc/秒 Rexon ® 標(biāo)配可調(diào)線圈清除和注入反應(yīng)器的底部在單獨(dú)的進(jìn)程摻雜劑行的測(cè)試。每個(gè) Rexon ® 標(biāo)配，有兩個(gè)硅和兩個(gè)摻雜源。射頻加熱 Rexon ® 射頻線圈設(shè)計(jì)用于與 RE DIXON MK 系列射頻發(fā)生器。建立了 200 千瓦型是在 75 到 100 千赫范圍內(nèi)操作。這可以確保足夠的權(quán)力交付使用傳輸線路達(dá) 50 英尺的長(zhǎng)度同時(shí)保持足夠高，以防止熱感顫振的頻率。
 
RE DIXON  Rexon2 ® 反應(yīng)器室
已執(zhí)行的最復(fù)雜的外延過程證明電抗器室和聚硅生長(zhǎng)。硅對(duì)藍(lán)寶石、 選擇性外延生長(zhǎng)，重?fù)诫s襯底、 原位多摻雜濃度和控制的摻雜梯度層的尖銳過渡寬度增長(zhǎng)。Rexon2 ® 反應(yīng)器曾經(jīng)在所有類型的半導(dǎo)體器件的制造中。無論您的要求是超大規(guī)模集成電路、 躁郁、 CMOS、 離散、 數(shù)字、線性模擬信號(hào)或聚為介質(zhì)隔離設(shè)備，我們做到了。立式氣體入口，旋轉(zhuǎn)碳化硅涂層熱感，加上**的鐘形配置和可調(diào)射頻線圈的設(shè)計(jì)，給出了處理的晶片負(fù)載優(yōu)良均勻性的厚度和電阻率。處理室和水暖設(shè)計(jì)有已制造的最高標(biāo)準(zhǔn)，以消除金屬污染物。Rexon ® 反應(yīng)堆已被用于生長(zhǎng)硅單晶從亞微米至厚達(dá) 250 微米。Rexon ® 并不局限于一個(gè)或兩個(gè)硅源，但同樣執(zhí)行以及對(duì)硅烷、 dichlorsilane、 三氯氫硅或硅四氯化。對(duì)于那些工廠和使用多個(gè)硅片直徑的鑄造廠，可能更改 Rexon ® 以容納任何從 2"到 200 毫米的晶圓在幾秒鐘內(nèi)。
RE DIXON  MK 系列射頻發(fā)生器
RE DIXON很高興宣布釋放的 MK 系列射頻發(fā)生器。這項(xiàng)開創(chuàng)性的新發(fā)電機(jī)效率有顯著增加。MK 系列發(fā)電機(jī)組相比，45%的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，保證 90%的效率與代表在工程設(shè)計(jì)中的一個(gè)飛躍。實(shí)際工廠測(cè)試得分高達(dá) 95%的效率。因?yàn)樗枰俚睦鋮s水，它也降低了提供冷凍的水的成本。這就是為什么所以我們的許多客戶已經(jīng)選擇用 MK 系列發(fā)電機(jī)組替換其老化西屋或支柱射頻發(fā)生器。這些強(qiáng)大的固態(tài)發(fā)電機(jī)提供 100 到 200 千瓦在 50 到 150 千赫，取代低效振蕩器管系統(tǒng)，提供的性能提升和電氣大幅減少和維修費(fèi)用。MK 系列發(fā)電機(jī)，那里是沒有需要更換管，其在舊的系統(tǒng)成本達(dá) 16,000 美元，一年更換。與減少的足跡，這些系統(tǒng)還需要珍貴的潔凈室地板空間少得多。MK 系列，以及降低了維護(hù)成本。這一技術(shù)的奇跡有零耗材。內(nèi)部組件操作只有 600 伏特 （至 15000 其他競(jìng)爭(zhēng)模型相比），該系統(tǒng)提供了更高的可靠性，減少組件分解。這還允許為您的員工更多安全的工作環(huán)境。RE 上的提前操作系統(tǒng)流量控制器的 MK 系列允許您監(jiān)視輸出，并輕松地執(zhí)行自我診斷。MK 系列發(fā)電機(jī)提供優(yōu)越的性能，為世界各地的雙子和 Rexon 系統(tǒng)。德國(guó)PS控制器
轉(zhuǎn)換效率
管型射頻發(fā)生器的功率轉(zhuǎn)換效率將大約 45%的輸入功率。這種效率取決于調(diào)優(yōu)、 類型和年齡的振蕩器管。在實(shí)際安裝中的效率可能會(huì)更低。如果發(fā)電機(jī)的功率調(diào)節(jié)使用滴管管它有效率比 6 脈沖控制 45%效率低得多。MK 系列發(fā)電機(jī)效率大約是 90%。這涉及到至少 50%的功耗節(jié)省。注： MK 200 效率規(guī)格包括所有損失 (6 脈沖、 直流電源濾波器、 逆變電源模塊、 輸出匹配變壓器和tank坦克電容器）。地板空間-MK 系列發(fā)電機(jī)的足跡等于 15 平方呎，與所有負(fù)載匹配里面。現(xiàn)有管射頻發(fā)生器的 footpring 等于 27.5 平方呎?；谵D(zhuǎn)換效率的設(shè)施水需求-前面所說，將要求您設(shè)施供水消散大約 60,000 BTU @ 200 千瓦與 MK 系列電源相比至 45 BTU @ 125 千瓦與真空管射頻發(fā)生器。弧以上潛力-以來的**工作頻率的 MK 系列是在約 50%的大多數(shù)現(xiàn)有的真空電子管射頻發(fā)電機(jī)的輸出頻率的潛力為傳輸線路或負(fù)載線圈弧以上是少得多。該設(shè)備被設(shè)計(jì)為直接替換所有感應(yīng)加熱的外延設(shè)備。它將接受所有的常見的輸入的控制信號(hào) （0 到 5 的馬 4 到 20 mA、 0 到 10 伏特的直流）。從雙子溫度控制器的信號(hào)保持不變。射頻輸出直接連接到目前的同軸傳輸線。（一些次要重構(gòu)的射頻線將有必要）。
 
標(biāo)準(zhǔn)的功能和規(guī)格：
RE DIXON控制電源和 EMO 按鈕開關(guān)
重置和所有其他的手動(dòng)功能是通過觸摸屏顯示器。
WinPLC 控制器執(zhí)行所有系統(tǒng)的日常工作。
可以通過觸摸屏設(shè)置功率控制手動(dòng)選擇所需的運(yùn)行功率級(jí)別
微處理器控制與維護(hù)訪問所有功能通過前臺(tái)的觸摸屏顯示器 （如果安裝）或局部區(qū)域網(wǎng)絡(luò)。
諧振頻率自動(dòng)控制。
流量?jī)x表監(jiān)視每個(gè)三個(gè)的冷卻回路。此外監(jiān)測(cè)冷卻劑回路和內(nèi)閣環(huán)境空氣的溫度。
非侵入性，自我診斷測(cè)試和監(jiān)視發(fā)射板、 信號(hào)和功率 CMOS 器件。所有數(shù)據(jù)都都可用的前面的液晶觸摸屏上。
內(nèi)部的匹配電路提供正確匹配在工作線圈 （50-150 千赫） 到所需的輸出頻率。
負(fù)載匹配組件，包括當(dāng)前的匹配變壓器和負(fù)載匹配電容器安裝在機(jī)箱內(nèi)。
 
RE DIXON  RE Dixon電源
標(biāo)準(zhǔn)Gemini 2 & Gemini 3 MK-150 晶體管化固態(tài)電源的功率為 150千瓦，和帶有匹配為 77 kHz 操作。單位是完全封閉和水冷卻。輸入的功率要求是 480 伏，3 階段，在 60 Hz 或 @ 50 Hz 和 177 千瓦 (在380-410 Vac
RE DIXON公司部分產(chǎn)品型號(hào)：

RE DIXON	量規(guī)	STK-9100 107GAUGE,BACK PRS 0-60"
RE DIXON	過時(shí)的	STK-9140 105OBSOLETE
RE DIXON	配件	STK-7000224 with exchange control,temp,ircon,2000 series
RE DIXON	配件	STK-7000224 no exchange control,temp,ircon,2000 series,rebui
RE DIXON	配件	STK-9050217O-RING,G2,OUTR,BP/LR
RE DIXON	配件	STK-9050216O-RING,G2,INER,BP/LR
RE DIXON	換能器真空	STK-9090607TRANSDUCER,VACUUM
RE DIXON	燈	STK-9150920LAMP,BULB,28V
RE DIXON	接觸器	STK-9151007  CONTACTOR,3PST 4OA USE WITH 9151007-1
RE DIXON	聯(lián)系器	STK-9151007-1 CONTACT,AUX,USE W/9151007,8910 CONTACT

 上海胤旭機(jī)電設(shè)備有限公司專注于進(jìn)口高端機(jī)電設(shè)備，具有專業(yè)的銷售和技術(shù)團(tuán)隊(duì)，能為客戶提供全方位的技術(shù)支持和售后服務(wù)。胤旭機(jī)電以自身的高度專業(yè)性，成功贏得國(guó)外數(shù)多家產(chǎn)品中國(guó)總代理權(quán)，并將竭誠努力為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和專業(yè)服務(wù)。PR隔離器